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還不清楚分子泵的不妨進(jìn)來(lái)瞧瞧!

更新更新時(shí)間:2020-06-11 瀏覽次數(shù):1841

       分子泵是一種獲得高真空和超高真空機(jī)械式真空泵,其分為渦輪分子泵、牽引分子泵和復(fù)合分子泵三大類(lèi)。分子泵主要用于為制造太陽(yáng)能電池和半導(dǎo)體提供*的真空環(huán)境。分子泵有著世界醉高水準(zhǔn)的排氣能力,并且有一系列的產(chǎn)品可以滿(mǎn)足不同的太陽(yáng)能電池模組和硅晶片的工藝需求,隨著市場(chǎng)的擴(kuò)大,我們開(kāi)發(fā)的腳步也從未停止。
  分子泵的抽氣機(jī)理與機(jī)械泵靠泵腔容積變化進(jìn)行抽氣的機(jī)理不同,利用了動(dòng)量傳遞原理,使分子定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。
  分子泵在電機(jī)的帶動(dòng)下高速旋轉(zhuǎn),采用變頻電源驅(qū)動(dòng)電機(jī),目的是得到較高的轉(zhuǎn)速。在分子流區(qū)域內(nèi),氣體分子與高速轉(zhuǎn)到的葉片表面碰撞,動(dòng)量傳遞給氣體分子,使部分氣體分子在剛體表面的運(yùn)動(dòng)方向上,產(chǎn)生定向流動(dòng)而被排出泵外,從而達(dá)到抽氣的目的。通常把用高速運(yùn)動(dòng)的剛體表面攜帶氣體分子,并使其按一定方向運(yùn)動(dòng)的現(xiàn)象稱(chēng)為分子牽引現(xiàn)象,利用這一現(xiàn)象制成的真空泵稱(chēng)為牽引分子泵(蓋德泵)。牽引分子泵的優(yōu)點(diǎn)是啟動(dòng)時(shí)間短,在分子流態(tài)下有很高的壓縮比,能抽除各種氣體和蒸氣,特別適于抽除較重的氣體。但由于牽引分子泵抽速小,密封間隙太小,工作可靠性較差,易出機(jī)械故降,而且制造困難,實(shí)際上很少應(yīng)用。

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