談?wù)劙步輦惙肿颖玫母黜?xiàng)特點(diǎn)

更新更新時(shí)間：2024-06-22 瀏覽次數(shù)：759

　　安捷倫分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械泵，因此對(duì)平衡的要求很高，對(duì)固體異物非常脆弱，通常要在分子泵的入口處安裝金屬過(guò)濾網(wǎng)。分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動(dòng)量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級(jí)抽走的一種真空泵。常規(guī)的分子泵使用軸承來(lái)確保葉片的高速旋轉(zhuǎn)。新型的分子泵采用磁懸浮構(gòu)造，使得葉片轉(zhuǎn)速不斷提高的同時(shí)，更使分子泵適合超高真空系統(tǒng)，也延長(zhǎng)了分子泵的使用壽命。

　　安捷倫分子泵的各項(xiàng)特點(diǎn)：

　　1、清潔無(wú)油蒸汽返流

　　干式操作：分子泵可以在無(wú)任何潤(rùn)滑油的情況下運(yùn)行，從而為被抽容器提供一個(gè)極為清潔的真空環(huán)境。

　　消除碳?xì)浠衔铮含F(xiàn)代渦輪分子泵通過(guò)采用空氣軸承或磁懸浮軸承技術(shù)，完q杜絕了油蒸汽返流的問(wèn)題，確保了工作環(huán)境中不含有任何碳?xì)浠衔铩?/div>

　　2、使用方便

　　簡(jiǎn)單啟動(dòng)：渦輪分子泵只需按電鈕即可開(kāi)始工作，無(wú)需高真空或粗真空閥，可以從大氣壓力降z(mì)極限壓力。

　　靈活安裝：渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝，占用空間小，適用于安裝位置受限的地方。

　　3、氣體輸送能力強(qiáng)

　　輕氣體輸送：大多數(shù)渦輪分子泵對(duì)輕氣體（如氫、氦）的輸送能力很強(qiáng)，特別適用于超高真空下的工藝操作。

　　耐腐蝕設(shè)計(jì)：有專門設(shè)計(jì)的渦輪分子泵用于抽除腐蝕性氣體，適用于刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕等工藝操作。

　　4、超高真空應(yīng)用的適用性

　　高極限真空：一臺(tái)密封良好的渦輪分子泵，配以性能良好的前級(jí)泵，其極限真空可達(dá)到10^-10 Torr（即13.33 nPa）之間。